工业烘箱的正确维护保养，提高烘箱设备的使用寿命。
维护保养需知：
1）上下班用软布把烘箱表面擦干净，保持烤箱表面清洁，防止表层脱漆影响外观。
2）工业烤箱内应经常擦拭，以免腐蚀性物质粘附在内胆上，影响烤箱使用寿命。
3）鼓风烘箱烘烤之温度绝
4）不可将工业烤箱风道和风孔堵死，以---正常送风风道。
5）在电热烤箱烘烤过程中听到声音异常应立即停止工作，检查马达及风叶轮，以免烧坏马达。
6）高温烘烤物品后，不能立即关掉总开关，应打开风扇开关让热量散发出去后方可关机，以免烤箱局部受热变形。
7）热风循环烘箱电控制箱应定期检修，由于电热接触器频繁通断，定期更换，以防触头烧坏咬死，不能切断电热电源，炉内温度升高会烤坏产品。
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
无尘烘箱日保养
1.打扫设备表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生。
2.检查电流表是否正常，如有异样，通知维修工检修。
3.检查风机运转是否正常，有无声音异常，如有请立即关闭机器并通知我司售后。
4.突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。
无尘烘箱月保养
1.维修工检查电流是否正常。
2.检查通风口是否堵塞，并清理积尘。
3.风机运转是否正常。
4.检查温控器是否准确，如不准确，转子固化炉生产厂家，请联系我司售后人员进行校正指导。
5.检查---管有无损坏，线路是否老化。
6.检查延
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