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热风循环烘箱——烘箱安全操作规程

1.烘箱要按照铭牌上所规定的温度范围使用，烘箱必须保持接地---。

2.烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉纱、布屑等易l燃物品，不得在烘箱旁进行洗涤、刮漆和喷漆等工作。

3.要防止其他物件落入烘箱底部与电阻丝接触造成短路。

4.打开烘箱前，必须先断电。加温过程中操不得离开。

5.不得在烘箱内存放物品，如工具，器材零件及油料挥发物。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，电子干燥箱厂商，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。